다이아몬드 슬러리는 공업용 다이아몬드를 물, 기름 등 액체에 분산시켜 제조한 현탁액(懸濁液)이다. 실리콘, 사파이어 등의 소재 가공 연마에 사용된다. 반도체용 실리콘 웨이퍼 가공 공정은 웨이퍼의 표면을 평평하게 연마해 오차 없이 정확한 회로를 그려 넣을 수 있게 하는 작업으로 고도의 정밀기술이 요구된다. 다이아몬드 슬러리는 다이아몬드 입자가 사용돼 뛰어난 연마력을 가지고 있어 반도체나 태양광, LED 웨이퍼 가공 공정에서 사용된다.
일진다이아몬드가 직접 개발한 고품질 다이아몬드 입자를 사용해 다이아몬드 슬러리를 제조했다. 일정한 마모력을 유지, 매번 동일한 결과를 가져다 주는 ‘일관성(Uniformity)’, 연마가 되는 소재에 흠이 나지 않는 ‘무흠집성(Scratch Free)’, 고속 연마를 가능케 하는 ‘고속성(High Cutting Rate)’ 등 필수 요건을 충족시킨 제품이다..
최규술 일진다이아몬드 대표는 “지식경제부 WPM(World Premier Materials) 프로젝트, 중소기업청 과제 등 정부 지원을 받아 연구 개발된 이번 제품은 그동안 일진 다이아몬드가 쌓아온 공업용 다이아몬드 기술의 집약체”라며 “국내 뿐 아니라 해외시장을 겨냥해 앞으로 우수 수출 품목으로 자리잡을 것”이라고 밝혔다.
한편, 일진다이아몬드는 세계 3대 공업용 다이아몬드 제조업체로 지난 5월 지식경제부가 발표한 ‘월드클래스 300’ 기업으로 선정된 바 있다.
why37@heraldcorp.com
